Wysokiej pojemności PID regulowania półprzewodnika pieca SEO serii szczelność powietrza

Piekarnik półprzewodnikowy wypełniony azotem ma silną uniwersalność, wysoką stabilność i wysoką wydajność.przyjmuje specjalną strukturę komory i technologię uszczelniania, o doskonałej szczelności powietrza i jednolitej temperaturze, aby spełnić wysokie wymagania dotyczące wydajności produktów półprzewodnikowych.Opakowania IC (substrat miedziany), żelu srebrnego, żelu krzemionkowego, żywicy epoksydowej), podłoża szklanego i innych produktów.
 
Technologia podstawowa:
01 System ciepłego powietrza o wysokiej wydajności z poziomym recyrkulacją powietrza w celu osiągnięcia jednolitej temperatury wysokiej wydajności
02 Komora jest w pełni uszczelniona, przyjmuje płytę ze stali nierdzewnej, z dobrą szczelnością powietrza, oszczędzając azot
03 Silnik o długiej osi o wysokiej mocy, odporny na wysoką temperaturę, oraz wielkogabarytowa ostrza turbiny, która może pracować stabilnie w środowisku o wysokiej temperaturze przez długi czas
04 Prędkość ogrzewania jest sterowana, jedno-klucz operacja ustawienia profilu procesu, z systemem chłodzenia do chłodzenia, co może skutecznie poprawić wydajność produkcji
05 Wysokiej precyzji regulator temperatury, regulacja PID, dokładność sterowania może osiągnąć 0,5°C, niezawodne sterowanie, bezpieczne użytkowanie
06 Skuteczne oczyszczanie, test starzenia w czystych pomieszczeniach o tysiącu stopni, aby spełnić wymagania warsztatów i produktów półprzewodnikowych wolnych od pyłu
07 Kontrola niskiej zawartości tlenu, monitorowanie w czasie rzeczywistym, system analizy podwójnych kanałów
 
Cechy produktu:
STRUKCJA Półprzewodnikowej komory pieca
Górne i dolne skrzynki są wyposażone w system cyrkulacji ciepłego powietrza, prędkość i objętość powietrza można regulować, a różne parametry procesu można obsługiwać niezależnie.Komora pieca jest wykonana z wysokiej jakości stali nierdzewnejPiekarnik jest wyposażony w warstwowe klamry w celu poprawy wykorzystania przestrzeni.

Półprzewodnik OWEN NITROGEN SYSTEM
Wypełnianie azotem wewnątrz komory, wyposażone w wielokrotny przepływomierz, z funkcją niezależnej regulacji, zapewniającą racjonalne wykorzystanie azotu, zrównoważoną dystrybucję.Z wielokanałowym analizatorem tlenu, monitorowanie w czasie rzeczywistym wartości zawartości tlenu w komorze górnej i dolnej, można kontrolować oddzielnie, zawartość tlenu w jednej komorze można kontrolować w zakresie 500PPM (opcja:w zakresie 100 ppm).
 

Półprzewodnikowy system chłodzenia pieca
System chłodzenia wodnym jest przyjęty. chłodzenie wodne płetwem chłodzącego, gdy temperatura w piecu jest chłodząca, dmuchawy szybko wymieniają ciepło przez płetwem chłodzącym,znacznie skraca czas chłodzeniaUnikalny system chłodzenia, unikający natychmiastowego chłodzenia pary rozszerzania w wysokiej temperaturze, które skutecznie chronią jakość produktu.

SYSTEM PROTEKCJI Bezpieczeństwa OWNA Półprzewodnikowy
Z ochroną przed nadciśnieniem (w celu zapobiegania zbyt wysokiej temperaturze w studiu i ochrony produktu), gdy wystąpi sytuacja nadciśnienia, natychmiast odłączy zasilanie,w tym samym czasie, istnieje alarm przypominający personelowi, lepsza ochrona produktów; kontrola i ochrona nadmiaru zawartości tlenu; ochrona przeciw niskiemu ciśnieniu azotu;górne i dolne pudełka są wyposażone w elektroniczne zamki bezpieczeństwa, a urządzenie ma wyłącznik awaryjnego zatrzymania.

Badanie przejrzystości pieca półprzewodnika
Po badaniu stężenie cząstek 0,5 μm wynosi ≤ 35200, co spełnia wymagania produkcyjne warsztatu o wysokiej czystości, klasy tysiąca, czystych i wolnych od pyłu.

Badanie profilu temperatury pieca półprzewodnikowego
Wysokiej precyzji regulator temperatury, regulacja PID, wysokiej wydajności poziomy system recyrkulacji powietrza gorącego powietrza, który może osiągnąć wysoką jednolitość temperatury.

 
Parametry produktu:

 
Zgłoszenia:
1Wymagania dotyczące źródła gazu: ciśnienie robocze azotu (ciśnienie podczas użytkowania) > 0,5-0,8Mpa, czystość azotu 99,999%.
2Wymagania dotyczące mocy:
1Trzyfazowy przewód piąty: napięcie 380V, częstotliwość 50/60HZ;
2Przedmiar drutu powyżej 25 mm2, przełącznik ochrony przed wyciekiem 100A, przełącznik ochrony przed wyciekiem, pojemność wycieku 150-200mA.
3Wymóg ciśnienia do gruntu: 1000 kg/m2.
4.Wymogi w zakresie wentylacji zewnętrznej: kanał wentylacyjny o zewnętrznej średnicy 2-Ø38 mm, objętość wentylacji 2*5M3/min;
5Wymagania środowiskowe: zakres temperatury otoczenia powinien wynosić od 5 do 40°C, a zakres wilgotności względnej 20 do 95%.